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　　白光轮廓仪测试表面粗糙度，测试视场232×174μm时，初始Ra≤1nm，抛光后Ra≤1nm；测试视场64×48μm时，表面粗糙度增量ΔRa≤0.1nm。

　　抛光后表面状态，无新增缺陷；显微镜偏光-微分干涉模式观察，表面无新增缺陷，例如划伤、亮点、氧化擦伤、斑块等；暗场模式下观察，表面无新增缺陷，例如氧化、黑点、起雾状等。

　　抛光后表面颗粒度：显微镜暗场模式下平均测试9点，表面颗粒度≤10/cm²。

　　千级（或以上）洁净室使用环境，全工艺过程中不产尘、不引入其他杂质与污染；设备由防腐蚀材料构成，整机防腐，适用于腐蚀性抛光溶剂，如溴甲醇、酸碱等腐蚀剂；

　　为实现化学抛光等各种复合工艺，设备支持双通道进料系统，可单独/同时工作，进料速率可实现数字化控制。供液流量控制范围：0~10ml/s；

　　转速连续可调：0~100rpm；抛光盘的更换、维护快速而简便，嵌入式盘；

　　一体式可拆卸结构，采用行星环绕运动方式；设备台面具有可拆卸性，便于抛光垫更换与零部件的维修；设备运行偏心距离为5mm（即齿轮圆心与玻璃衬底圆心之间距离为5mm）；