伟德bv1946官网-铭扬半导体申请抛光设备的上下料装置和抛光设备专利有效缩短晶圆传输时间提高工艺产率
栏目:行业资讯 发布时间:2026-02-01
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  伟德国际(bevictor·1946)源自英国官方网站-   国家知识产权局信息显示,铭扬半导体科技(合肥)有限公司申请一项名为“抛光设备的上下料装置和抛光设备”的专利,公开号CN121043024A,申请日期为2025年11月。   专利摘要显示,本发明公开了抛光设备的上下料装置和抛光设备,抛光设备的

  伟德国际(bevictor·1946)源自英国官方网站-

伟德bv1946官网-铭扬半导体申请抛光设备的上下料装置和抛光设备专利有效缩短晶圆传输时间提高工艺产率

  国家知识产权局信息显示,铭扬半导体科技(合肥)有限公司申请一项名为“抛光设备的上下料装置和抛光设备”的专利,公开号CN121043024A,申请日期为2025年11月。

  专利摘要显示,本发明公开了抛光设备的上下料装置和抛光设备,抛光设备的上下料装置包括:抛头;底板,升降驱动件选择性地驱动底板升降;承载板,承载板设置于底板和抛头之间且与底板相连;承载主板的上侧设置有多个晶圆检测传感器,多个晶圆检测传感器周向间隔设置于承载主板的边缘。由此,通过底板和承载板的同步升降,以靠近或远离抛头,可以快速直接地实现晶圆的上下料,将晶圆导向柱和晶圆检测传感器集成在承载主板上,可以进一步地提升晶圆的上下料的速度,可以有效地缩短晶圆传输的时间,提高工艺产率。另外,将承载环的壁厚在合理范围内设置地更小,可以减小承载板与晶圆的接触面积,从而可以降低抛光液在晶圆表面产生的压痕。

  天眼查资料显示,铭扬半导体科技(合肥)有限公司,成立于2022年,位于合肥市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1150万人民币。通过天眼查大数据分析,铭扬半导体科技(合肥)有限公司共对外投资了1家企业,专利信息17条,此外企业还拥有行政许可4个。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。