国家知识产权局信息显示,昂士特科技(深圳)有限公司申请一项名为“一种用于抛光碳化硅基材的化学机械抛光组合物及其抛光方法”的专利,公开号CN121610187A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请提供一种用于抛光碳化硅基材的化学机械抛光组合物及其抛光方法。其中,化学机械抛光组合物包括氧化硅磨粒、第一盐、第二盐、催化剂和氧化剂,所述第一盐包括硫盐。通过使用上述化学机械抛光组合物对碳化硅基材进行抛光,可以保持化学机械抛光组合物内的化学环境保持稳定,从而提升化学机械抛光组合物对碳化硅基材的材料去除率。
天眼查资料显示,昂士特科技(深圳)有限公司,成立于2019年,位于深圳市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本1465.1388万人民币。通过天眼查大数据分析,昂士特科技(深圳)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,财产线条,此外企业还拥有行政许可18个。
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