国家知识产权局信息显示，昂士特科技（深圳）有限公司申请一项名为“一种用于抛光氧化硅衬底的化学机械抛光组合物及其抛光方法”的专利，公开号CN121610188A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本申请提供一种用于抛光氧化硅衬底的化学机械抛光组合物及其抛光方法，涉及化学机械抛光技术领域。该化学机械抛光组合物包括磨。其中，所述磨粒包括第一磨粒和第二磨粒，其中所述第一磨粒为切角八面体氧化铈磨粒，所述第二磨粒为氧化锆磨粒。第一磨粒和第二磨粒配合使得化学机械抛光组合物在提高材料去除率的同时兼具优异平坦化性能。
天眼查资料显示，昂士特科技（深圳）有限公司，成立于2019年，位于深圳市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本1465.1388万人民币。通过天眼查大数据分析，昂士特科技（深圳）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，财产线条，此外企业还拥有行政许可18个。
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